Treffer 1 - 3 von 3 für Suche 'Haussalo, Pekka', Suchdauer: 0,28s Treffer weiter einschränken
  1. 1
    Atomic layer epitaxy growth of TiN thin films

    Atomic layer epitaxy growth of TiN thin films von RITALA, M, LESKELÄ, M, RAUHALA, E, HAUSSALO, P


    Volltext
    Artikel

    Zu den Favoriten
    Gespeichert in:
  2. 2
    Titanium isopropoxide as a precursor in atomic layer epitaxy of titanium dioxide thin films

    Titanium isopropoxide as a precursor in atomic layer epitaxy of titanium dioxide thin films von Ritala, Mikko, Leskela, Markku, Niinisto, Lauri, Haussalo, Pekka

    Veröffentlicht in Chemistry of materials

    Volltext
    Artikel

    Zu den Favoriten
    Gespeichert in:
  3. 3
    Low temperature deposition of AIN films by an alternate supply of trimethyl aluminum and ammonia

    Low temperature deposition of AIN films by an alternate supply of trimethyl aluminum and ammonia von Riihelä, Diana, Ritala, Mikko, Matero, Raija, Leskelä, Markku, Jokinen, Janne, Haussalo, Pekka

    Veröffentlicht in Chemical vapor deposition

    Volltext
    Artikel

    Zu den Favoriten
    Gespeichert in:

Suchwerkzeuge: