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1
Electrical Effect of Nitrogen Implanted Into LDD of MOSFETs
von
Song, Yoo Seon
,
Lenski, Markus
,
Karim, Mohammed F.
,
Flynn, Keith
,
Hoentschel, Jan
,
Peters, Carsten
,
Sachse, Jens-Uwe
,
Aydin, Omur Isil
,
Wu, Jun
,
Hausdorfer, Bastian
,
Siddabathula, Mahesh
,
Semmler, Konrad
,
Daleiden, Jurgen
Veröffentlicht in
IEEE journal of the Electron Devices Society
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Verfahren zur Strukturierung einer Siliziumoxid-Schicht
von
GOLDBACH, MATTHIAS
,
GRAHL, ORTRUN
,
HAUSDOERFER, BASTIAN
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Patent
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Nitrogen
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Off
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Von:
Bis:
Quelle
Ieee Power & Energy Library
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Ieee Open Access Journals
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Esp@Cenet
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Doaj Directory Of Open Access Journals
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Elektronische Zeitschriftenbibliothek - Frei Zugängliche E-Journals
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Ieee Electronic Library (Iel)
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