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Microfabrication of Si-Based High-Index-Contrast-Grating Structure by Thermal Nanoimprint Lithography and Cl2/Xe-Inductively Coupled Plasma Etching
von
Matsutani, Akihiro
,
Hashidume, Yuuki
,
Ohtsuki, Hideo
,
Koyama, Fumio
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Jpn J Appl Phys
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Matsutani, Akihiro
,
Hashidume, Yuuki
,
Ohtsuki, Hideo
,
Koyama, Fumio
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Microfabrication of Si-Based High-Index-Contrast-Grating Structure by Thermal Nanoimprint Lithography and Cl 2 /Xe-Inductively Coupled Plasma Etching
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Matsutani, Akihiro
,
Hashidume, Yuuki
,
Ohtsuki, Hideo
,
Koyama, Fumio
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BEARING WITH SEAL
von
MUNEYOSHI Masaki
,
SASAKI Katsuaki
,
HASHIDUME Yuuki
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BALL BEARING
von
MOCHIZUKI Yuta
,
HASHIDUME Yuuki
,
SATO Takufumi
,
KANBORI Yasuhiro
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Institute Of Physics (Iop) Journals - Heal-Link
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Iopscience Extra
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Esp@Cenet
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