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Strength and leak testing of plasma activated bonded interfaces
Veröffentlicht in Sensors and actuators. A, Physical
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Sodium distribution in thin-film anodic bonding
Veröffentlicht in Sensors and actuators. A, Physical
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Diffusion at anodically bonded interfaces
Veröffentlicht in Journal of micromechanics and microengineering
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Industrial Microelectronics towards the Year 2000
Veröffentlicht in Microelectronics international
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An integrated capacitive pressure sensor with frequency-modulated output
Veröffentlicht in Sensors and actuators
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