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System and method to adjust a kinetics model of surface reactions during plasma processing
von
Zhang, Yiting
,
Huard, Chad
,
Han, Fiddle
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Chen, Yeurui
,
Agarwal, Ankur
,
Li, Xin
,
Pu, Haifeng
,
Panneerchelvam, Premkumar
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System and Method to Adjust A Kinetics Model of Surface Reactions During Plasma Processing
von
Zhang, Yiting
,
Huard, Chad
,
Han, Fiddle
,
Agarwal, Ankur A
,
Chen, Yeurui
,
Li, Xin
,
Pu, Haifeng
,
Panneerchelvam, Premkumar
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3
SYSTEM AND METHOD TO ADJUST A KINETICS MODEL OF SURFACE REACTIONS DURING PLASMA PROCESSING
von
AGARWAL, Ankur A
,
ZHANG, Yiting
,
PANNEERCHELVAM, Premkumar
,
CHEN, Yeurui
,
LI, Xin
,
HUARD, Chad
,
PU, Haifeng
,
HAN, Fiddle
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Patent
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4
플라즈마 처리 동안 표면 반응의 동역학 모델을 조정하는 시스템 및 방법
von
PU HAIFENG
,
AGARWAL ANKUR A
,
ZHANG YITING
,
HUARD CHAD
,
LI XIN
,
PANNEERCHELVAM PREMKUMAR
,
CHEN YEURUI
,
HAN FIDDLE
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Patent
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5
System and method to adjust a kinetics model of surface reactions during plasma processing
von
ZHANG, YI-TING
,
PU, HAI-FENG
,
LI, XIN
,
PANNEERCHELVAM, PREMKUMAR
,
HAN, FIDDLE SI-XIAO
,
HUARD, CHAD
,
CHEN, YEU-RUI
,
AGARWAL, ANKUR A
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Patent
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Wreck of 99/Golden Slippers/Goodbye Mick,Goodbye Pat
von
Séamus MacMathúna unless otherwise noted
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