Maskless patterning of indium tin oxide layer for flat panel displays by diode-pumped Nd:YLF laser irradiation von Takai, M., Bollmann, D., Haberger, K.

Volltext

Shallow p-n junctions produced by laser doping with boron silicate glass von Bollmann, D., Neumayer, G., Buchner, R., Haberger, K.

Volltext

Measurement of wafer temperature by interference von Bollmann, D., Haberger, K.

Volltext

Avoidance of substrate damage upon laser recrystallization of a SOI layer von VAN DER WEL, W, BUCHNER, R, HABERGER, K, SEITZ, S, WEBER, J, SEEGEBRECHT, P

Volltext

Laser evaporation of metal sandwich layers for improved IC metallization von Pielmeier, R., Bollmann, D., Haberger, K.

Volltext

Ultra-flat p-n junctions formed by solid source laser doping von Stock, G., Bollmann, D., Buchner, R., Neumayer, G., Haberger, K.

Volltext

Optically matched capping layers for CO2 laser recrystallization of polysilicon von STEINBERGER, H, BUCHNER, R, HABERGER, K, ROSE, E

Volltext

High performance air cooling scheme using ducted microchannel parallel plate-fin heat sinks von Kleiner, M.B., Kuehn, S.A., Haberger, K.

Volltext

Simulation of doping processes von Ryssel, H., Haberger, K., Hoffmann, K., Prinke, G., Dumcke, R., Sachs, A.

Volltext

Liquid phase epitaxy of silicon at low temperatures von Kresse, F., Baumann, G.G., Jäntsch, O., Haberger, K.

Volltext

High performance forced air cooling scheme employing microchannel heat exchangers von Kleiner, M.B., Kuhn, S.A., Haberger, K.

Volltext

Substrate-damage-free laser recrystallization of polycrystalline silicon von Buchner, R., Van Der Wel, W., Haberger, K., Seegebrecht, P.

Volltext

Investigation of laser recrystallization of thin Si films using numerical simulation von Hu, B., Seidl, A., Buchner, R., Bollmann, D., van der Wel, W., Haberger, K.

Volltext

3D CMOS devices in recrystallized silicon von Buchner, R., Haberger, K., Seitz, S., Weber, J., Seegebrecht, P., van der Wel, W.

Volltext

High concentration effects of ion implanted boron in silicon von Ryssel, H., Müller, K., Haberger, K., Henkelmann, R., Jahnel, F.

Volltext

Interconnection scheme for improved high speed ICs von Plettner, A., Haberger, K., Englmaier, A., Hartmann, H., Neumeier, K.

Volltext

Dopant dependence of the oxidation rate of ion implanted silicon von Götzlich, J. F., Haberger, K., Ryssel, H., Kranz, H., Traumüller, E.

Volltext

Simulation of Doping Processes von Ryssel, H., Haberger, K., Hoffmann, K., Prinke, G., Dumcke, R., Sachs, A.

Volltext

Improved BESOI substrates for high speed ICs von Plettner, A., Haberger, K., Neumeier, K.

Volltext bestellen

Implantat zur lokalen Stimulierung von Muskel- und Nervenzellen von Haberger, K

Volltext bestellen