Suchergebnisse - HUIBERTS, Sjoerd | OPAC THWS

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ACTUATOR UNIT FOR POSITIONING AN OPTICAL ELEMENT von HUIBERTS, Sjoerd Martijn, VAN DER MEULEN, René Josephus Johannes, VERMEULEN, Johannes Petrus Martinus Bernardus

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2

Actuator unit for positioning an optical element von Vermeulen, Johannes Petrus Martinus Bernardus, Van Der Meulen, René Josephus Johannes, Huiberts, Sjoerd Martijn

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ACTUATOR UNIT FOR POSITIONING AN OPTICAL ELEMENT von HUIBERTS, Sjoerd Martijn, VAN DER MEULEN, René Josephus Johannes, VERMEULEN, Johannes Petrus Martinus Bernardus

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4

LITHOGRAPHIC APPARATUS WITH A FLUID HANDLING STRUCTURE von OKLUCENTE, Beril, DUYMELINCK, Rob, BERENDSEN, Christianus, EUMMELEN, Erik, PARK, Sang-Myung, TAP, Mireille, SMEETS, Benjamin, GATTOBIGIO, Giovanni, HUIBERTS, Sjoerd, VAN GROTEL, Martinus, MIGCHELBRINK, Ferdy

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5

Method of calibrating a reluctance actuator assembly, reluctance actuator and lithographic apparatus comprising such reluctance actuator von Heijmans, Peter Michel Silvester Maria, Hol, Sven Antoin Johan, Lemmen, Bas Pieter, Lof, Joeri, Rutgers, Petrus Theodorus, Singh, Harmeet, Akkermans, Johannes Antonius Gerardus, Huiberts, Sjoerd Martijn

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6

Method of Calibrating a Reluctance Actuator Assembly, Reluctance Actuator and Lithographic Apparatus Comprising Such Reluctance Actuator von LEMMEN BAS PIETER, HOL SVEN ANTOIN JOHAN, HUIBERTS SJOERD MARTIJN, SINGH HARMEET, HEIJMANS PETER MICHEL SILVESTER MARIA, LOF JOERI, RUTGERS PETRUS THEODORUS, AKKERMANS JOHANNES ANTONIUS GERARDUS

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7

METHOD OF CALIBRATING A RELUCTANCE ACTUATOR ASSEMBLY, RELUCTANCE ACTUATOR AND LITHOGRAPHIC APPARATUS COMPRISING SUCH RELUCTANCE ACTUATOR von RUTGERS, PETRUS, THEODORUS, HEIJMANS, PETER, MICHEL, SILVESTER, MARIA, LEMMEN, BAS, PIETER, HOL, SVEN, ANTOIN, JOHAN, SINGH, HARMEET, HUIBERTS, SJOERD, MARTIJN, LOF, JOERI, AKKERMANS, JOHANNES, ANTONIUS, GERARDUS

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8

METHOD OF CALIBRATING A RELUCTANCE ACTUATOR ASSEMBLY, RELUCTANCE ACTUATOR AND LITHOGRAPHIC APPARATUS COMPRISING SUCH RELUCTANCE ACTUATOR von RUTGERS, PETRUS, THEODORUS, HEIJMANS, PETER, MICHEL, SILVESTER, MARIA, LEMMEN, BAS, PIETER, HOL, SVEN, ANTOIN, JOHAN, SINGH, HARMEET, HUIBERTS, SJOERD, MARTIJN, LOF, JOERI, AKKERMANS, JOHANNES, ANTONIUS, GERARDUS

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9

METHOD OF CALIBRATING A RELUCTANCE ACTUATOR ASSEMBLY, RELUCTANCE ACTUATOR AND LITHOGRAPHIC APPARATUS COMPRISING SUCH RELUCTANCE ACTUATOR von LEMMEN BAS PIETER, HOL SVEN ANTOIN JOHAN, HUIBERTS SJOERD MARTIJN, SINGH HARMEET, HEIJMANS PETER MICHEL SILVESTER MARIA, LOF JOERI, RUTGERS PETRUS THEODORUS, AKKERMANS JOHANNES ANTONIUS GERARDUS

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Method of calibrating a reluctance actuator assembly, reluctance actuator and lithographic apparatus comprising such reluctance actuator von RUTGERS, PETRUS THEODORUS, AKKERMANS, JOHANNES ANTONIUS GERARDUS, HUIBERTS, SJOERD MARTIJN, HOL, SVEN ANTOIN JOHAN, SINGH, HARMEET, LEMMEN, BAS PIETER, HEIJMANS, PETER MICHEL SILVESTER MARIA, LOF, JOERI

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Method of calibrating a reluctance actuator assembly, reluctance actuator and lithographic apparatus comprising such reluctance actuator von RUTGERS, PETRUS THEODORUS, AKKERMANS, JOHANNES ANTONIUS GERARDUS, HUIBERTS, SJOERD MARTIJN, HOL, SVEN ANTOIN JOHAN, SINGH, HARMEET, LEMMEN, BAS PIETER, HEIJMANS, PETER MICHEL SILVESTER MARIA, LOF, JOERI

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METHOD OF CALIBRATING RELUCTANCE ACTUATOR ASSEMBLY, RELUCTANCE ACTUATOR, AND LITHOGRAPHIC APPARATUS COMPRISING SUCH RELUCTANCE ACTUATOR von ACKERMANS JOHANNES ANTONIUS GERARDUS, PETER MICHEL SILVESTER MARIA HEIJMANS, BAS PIETER LEMMEN, HOL SVEN ANTOINE JOHANN, HARMEET SINGH, SJOERD MARTIJN HUIBERTS, JOERI LOF, PETRUS THEODORUS RUTGERS

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SUBSTRATE SUPPORT AND LITHOGRAPHIC APPARATUS von ROSET, Niek, HUIBERTS, Joy, SEEGER, Thilo, PONTONI, Daniel, RAVENSBERGEN, Simon, HUANG, Zhuangxiong Sjoerd

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