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    Semiconductor device comprising trench isolation

    Semiconductor device comprising trench isolation von Hueselitz, Rico, Baars, Peter, Grasshoff, Gunter

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    Semiconductor device comprising trench isolation

    Semiconductor device comprising trench isolation von HUESELITZ, RICO, BAARS, PETER, GRASSHOFF, GUNTER

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    Planarization of a material system in a semiconductor device by using a non-selective in situ prepared slurry

    Planarization of a material system in a semiconductor device by using a non-selective in situ prepared slurry von GROSCHOPF JOHANNES, KITSCHE MARCO, STEFFEN KATJA, HUESELITZ RICO

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    Einebnung eines Materialsystems in einem Halbleiterbauelement unter Anwendung eines nicht-selektiven in-situ zubereiteten Schleifmittels

    Einebnung eines Materialsystems in einem Halbleiterbauelement unter Anwendung eines nicht-selektiven in-situ zubereiteten Schleifmittels von STEFFEN, KATJA, GROSCHOPF, JOHANNES, HUESELITZ, RICO, KITSCHE, MARCO

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