Suchergebnisse - HUERRICH, ARND | OPAC THWS

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A SOI-RF-CMOS technology on high resistivity SIMOX substrates for microwave applications to 5 GHz von Eggert, D., Huebler, P., Huerrich, A., Kueck, H., Budde, W., Vorwerk, M.

Veröffentlicht in IEEE transactions on electron devices

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2

Microelectromechanical component and method for producing same von Huerrich, Arnd, Rudloff, Dirk, Doering, Sebastian, Friedrichs, Martin

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3

MICROELECTROMECHANICAL COMPONENT AND METHOD FOR PRODUCING SAME von FRIEDRICHS, Martin, DOERING, Sebastian, RUDLOFF, Dirk, HUERRICH, Arnd

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4

PASSIVE HF ELEMENT AND METHOD FOR OPERATING, PRODUCING AND DETERMINING CHARACTERISTIC PROPERTIES OF THE SAME von VORWERK, MATTHIAS, HUEBLER, PETER, HUERRICH, ARND, TODT, ULRICH, EGGERT, DIETMAR

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5

VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON KOMPLEMENTAEREN HALBLEITERANORDNUNGEN von HUERRICH,ARND,DD, GEYER,PETER,DD, PETZOLDT,RALF,DD, KRUEGEL,STEPHAN,DD

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6

VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER HALBLEITERANORDNUNG MIT THERMISCHEN GETTERPROZESSEN von WAITZ,ROLF,.,DE, WOLTER,ERIKA,.,DE, FRICKE,PETER,-MINERAL.,DE, HUERRICH,ARND,.,DE, MACHOLD,HANS-JOACHIM,.,DE

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7

VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER HALBLEITERANORDNUNG MIT THERMISCHEN GETTERPROZESSEN von WAITZ,ROLF,DD, WOLTER,ERIKA,DD, FRICKE,PETER,DD, HUERRICH,ARND,DD, MACHOLD,HANS-JOACHIM,DD

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8

VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER SCHICHTSTRUKTUR AUF EINEM HALBLEITERSUBSTRAT von PFUELLER,ULRICH,DD, HUERRICH,ARND,DD, DOSE,UWE,DD, LEIBERG,WOLFGANG,DD, RAAB,MICHAEL,DD

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9

MICROELECTROMECHANICAL COMPONENT AND METHOD FOR PRODUCING SAME von HÜRRICH, Arnd, FRIEDRICHS, Martin, RUDLOFF, Dirk, DÖRING, Sebastian

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10

Mikroelektromechanisches Bauteil sowie ein Verfahren zu seiner Herstellung von Hürrich, Arnd, Rudloff, Dirk, Döring, Sebastian, Friedrichs, Martin

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11

VERFAHREN ZUR STEUERUNG DER DEFEKTBILDUNG IN CZ-SILIZIUMSCHEIBEN von WAITZ,ROLF,DD, FRICKE,PETER,DD, HUERRICH,ARND,DD, MACHOLD,HANS-JOACHIM,DD, REICHEL,JOHANNES,DD, KIRSCHT,FRITZ-GUENTER,DD, KOSCHACK,BAERBEL,DD, KLOSE,HOLGER,DD, BABANSKAJA,IRINA,DD, REICHE,MANFRED,DD, SCHMALZ,KLAUS,DD, NITZSCHE,WALTER,DD

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12

VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG GETTERFAEHIGER SILIZIUM-SCHEIBEN von TRAMPE,UWE,DD, HUERRICH,ARND,DD, MAI,MICHAEL,DD, RIEPEL,GEORG,DD, TAENZER,DIETMAR,DD, HANSCH,CLEMENS,DD, RICHTER,HANS,DD, KIRSCHT,FRITZ-GUENTER,DD, KRUEGER,HANS-JOACHIM,DD, NITZSCHE,WALTER,DD

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13

VERFAHREN ZUR CHARAKTERISIERUNG SAUERSTOFFINDUZIERTER DEFEKTE IN SILIZIUM von HOFFMANN,KLAUS,DD, KESSLER,HAGEN,DD, HUERRICH,ARND,DD, BERTOLDI,RUTH,DD, RIEPEL,GEORG,DD, GAWORZEWSKI,PETER,DD, KIRSCHT,FRITZ-GUENTER,DD, SCHMALZ,KLAUS,DD, NITZSCHE,WALTER,DD

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