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Method and apparatus for high-resolution in-situ plasma etching of inorganic and metal films
von
Hsia, Shao-Wen
,
Berg, Michael
,
Brongo, Maureen
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Methods and apparatus for stripping photoresist and polymer layers from a semiconductor stack in a non-corrosive environment
von
HUANG PETER Y
,
HSIA SHAO-WEN
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Semiconductor interconnect structure employing a pecvd inorganic dielectric layer and process for making same
von
BRONGO, MAUREEN R
,
HSIA, SHAO-WEN
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Method and apparatus for high-resolution in-situ plasma etching of inorganic and metals films
von
Hsia, Shao-Wen
,
Berg, Michael J
,
Brongo, Maureen R
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Method and apparatus for high-resolution in-situ plasma etching of inorganic and metals films
von
BRONGO MAUREEN R
,
BERG MICHAEL J
,
HSIA SHAO-WEN
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6
Method and apparatus for high-resolution in-situ plasma etching of inorganic and metal films
von
BERG, MICHAEL J
,
BRONGO, MAUREEN R
,
HSIA, SHAO-WEN
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Method and apparatus for high-resolution in-situ plasma etching of inorganic and metal films
von
BRONGO MAUREEN R
,
BERG MICHAEL J
,
HSIA SHAO-WEN
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METHOD AND APPARATUS FOR HIGH-RESOLUTION IN-SITU PLASMA ETCHING OF INORGANIC AND METAL FILMS
von
MAUREEN R. BRONGO
,
SHAO-WEN HSIA
,
MICHAEL J. BERG
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9
Apparatus for high-resolution in-situ plasma etching of inorganic and metal films
von
BRONGO MAUREEN R
,
BERG MICHAEL J
,
HSIA SHAO-WEN
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10
Method and apparatus for high-resolution in-situ plasma etching of inorganic and metal films
von
BRONGO MAUREEN R
,
BERG MICHAEL J
,
HSIA SHAO-WEN
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High resolution, multi-layer resist for microlithography and method therefor
von
HSIA
,
SHAO-WEN
,
KOZICKI
,
MICHAEL N
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Semiconductor device and process
von
Young, David T
,
Abdul-Ridha, Hadi
,
Hsia, Shao-Wen
,
Brongo, Maureen R
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Semiconductor device and process
von
ABDUL-RIDHA HADI
,
BRONGO MAUREEN R
,
YOUNG DAVID T
,
HSIA SHAO-WEN
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Patent
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Dome camera with non-contact anti-light interference device
von
CHEN, CHUNGIH
,
HUANG, TSE-YANG
,
LIN, YUEH-HSIA
,
KAO, SHAO-WEN
,
WU, WEI
,
WANG, MAO-LIN
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