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Structural Analysis of Dislocations in Highly Nitrogen-Doped 4H-SiC Substrates
Veröffentlicht in Materials science forum
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Dislocation processes during SiC bulk crystal growth
Veröffentlicht in Microelectronic engineering
VolltextArtikel -
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4H-SiC Epitaxial Growth on Carbon-Face Substrates with Reduced Surface Roughness
Veröffentlicht in Materials science forum
VolltextArtikel -
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