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Thermal stability of silicide on polycrystalline Si
Veröffentlicht in Thin solid films
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Crystallization of coevaporated and ion-irradiated amorphous CoSi2
Veröffentlicht in Journal of applied physics
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Regrowth rates and dopant activation of Sb+-implanted Si-Ge alloys
Veröffentlicht in Journal of applied physics
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Interdiffusion and reaction in Cu/PtSi/Si(100) systems
Veröffentlicht in Journal of applied physics
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Interfacial reactions in the SiO2/Ru and SiO2/Ru/Al-Si structures
Veröffentlicht in Journal of applied physics
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