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FR2620269
von
LEONARD EARL HOHN
,
JEONG-MO HWANG
,
JAMES BERNARD MCNALLY
,
DANIEL LEO MEIER
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METODO PER TESSERE UNA SUPERFICIE DI SILICIO DI QUALSIASI ORIENTAMENTO OLOGRAFICO DEI CRISTALLI IMPIEGANDO UN ATTACCO CHIMICO ISOTROPICO E UNA FOTOLITOGRAFIA E CRISTALLI DI SILICIO...
von
LEONARD EARL HOHN
,
JEONG MO HWANG
,
JAMES BERNARD MCNALLY
,
DANIEL LEO MEIER
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METHOD FOR TEXTURING A SILICON SURFACE OF ANY CRYSTALLOGRAPHIC ORIENTATION USING AN ISOTROPIC ETCH AND PHOTOLITHOGRAPHY AND SILICON CRYSTALS MADE THEREBY
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LEONARD EARL HOHN
,
JEONG-MO HWANG
,
JAMES BERNARD MCNALLY
,
DANIEL LEO MEIER
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Process for texturing a silicon surface
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LEONARD EARL HOHN
,
JEONG-MO HWANG
,
JAMES BERNARD MCNALLY
,
DANIEL LEO MEIER
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METHOD FOR TEXTURING A SILICON SURFACE OF ANY CRYSTALLOGRAPHIC ORIENTATION USING AN ISOTROPIC ETCH AND PHOTOLITHOGRAPHY AND SILICON CRYSTALS MADE THEREOF
von
LEONARD EARL HOHN
,
JEONG-MO HWANG
,
JAMES BERNARD MCNALLY
,
DANIEL LEO MEIER
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METODO PER TESSERE UNA SUPERFICIE DI SILICIO DI QUALSIASI ORIENTAMENTO OLOGRAFICO DEI CRISTALLI IMPIEGANDO UN ATTACCO CHIMICO ISOTROPICO E UNA FOTOLITOGRAFIA E CRISTALLI DI SILICIO...
von
LEONARD EARL HOHN
,
JEONG MO HWANG
,
JAMES BERNARD MCNALLY
,
DANIEL LEO MEIER
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7
METHOD FOR TEXTURING A SILICON SURFACE OF ANY CRYSTALLOGRAPHIC ORIENTATION USING AN ISOTROPIC ETCH AND PHOTOLITHOGRAPHY
von
LEO MEIER, DANIEL
,
MCNALLY, JAMES BERNARD
,
HOHN, LEONARD EARL
,
HWANG, JUNG-MO
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