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Low Temperature Chemical Vapor Deposition Using Atomic Layer Deposition Chemistry
Veröffentlicht in Chemistry of materials
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Microstructure and ferroelectricity of BaTiO3 thin films on Si for integrated photonics
Veröffentlicht in Nanotechnology
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Room Temperature Direct Electron Beam Lithography in a Condensed Copper Carboxylate
Veröffentlicht in Micromachines (Basel)
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