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Optical spectroscopy for sputtering process characterization
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Revisiting particle dynamics in HiPIMS discharges. I. General effects
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Revisiting particle dynamics in HiPIMS discharges. II. Plasma pulse effects
Veröffentlicht in Journal of applied physics
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Exploring different approaches of multipulse HiPIMS
Veröffentlicht in Surface & coatings technology
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Spatially resolved study of spokes in reactive HiPIMS discharge
Veröffentlicht in Plasma sources science & technology
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Surface Treatment by Atmospheric-Pressure Surfatron Jet
Veröffentlicht in IEEE transactions on plasma science
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