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Wet Selective SiGe Etch to Enable Ge Nanowire Formation
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Impact of Dissolved Oxygen in Dilute HF Solution on Material Etch
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Pattern Collapse of High-Aspect-Ratio Silicon Nanostructures - A Parametric Study
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Some Critical Issues in Pattern Collapse Prevention and Repair
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Effect of Dilute Hydrogen Peroxide in Ultrapure Water on SiGe Epitaxial Process
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The Effect of Rinsing a Germanium Surface after Wet Chemical Treatment
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Characterization of Etch Residues Generated on Damascene Structures
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