Suchergebnisse - HEINZ, TONY FREDERICK | OPAC THWS

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In-situ monitoring and control of conductive films by detecting changes in induced eddy currents von HALPERIN, ARNOLD, BARBEE, STEVEN GEORGE, LI, LEPING, HEINZ, TONY FREDERICK

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IN-SITU MONITORING OF THE CHANGE IN THICKNESS OF FILMS von HALPERIN, ARNOLD, LI, LEPING, HEINZ, TONY FREDERICK, BARBEE, STEVEN GEORGE

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In-situ monitoring of the change in thickness of films von HALPERIN, ARNOLD, BARBEE, STEVEN GEORGE, LI, LEPING, HEINZ, TONY FREDERICK

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4

Real time measurement of etch rate during a chemical etching process von LI, LEPING, HEINZ, TONY FREDERICK, HSIAO, YIPING, WONG, JUSTIN WAIOW, BARBEE, STEVEN GEORGE

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5

Method and apparatus for contactless real-time in-situ monitoring of a chemical etching process von LI, LEPING, HEINZ, TONY FREDERICK, RATZLAFF, EUGENE HENRY, BARBEE, STEVEN GEORGE

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6

In-situ monitoring of conductive films on semiconductor wafers von HALPERIN, ARNOLD, BARBEE, STEVEN GEORGE, LI, LEPING, HEINZ, TONY FREDERICK

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Real time measurement of etch rate during a chemical etching process von LI, LEPING, HEINZ, TONY FREDERICK, HSIAO, YIPING, WONG, JUSTIN WAIOW, BARBEE, STEVEN GEORGE

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Method and apparatus for contactless real-time in-situ monitoring of a chemical etching process von LI, LEPING, HEINZ, TONY FREDERICK, RATZLAFF, EUGENE HENRY, BARBEE, STEVEN GEORGE

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Method and apparatus for real-time, in-situ endpoint detection and closed loop etch process control von SILVESTRI, VICTOR JOSEPH, LI, LEPING, HEINZ, TONY FREDERICK, HOEFER, ULRICH, BARBEE, STEVEN GEORGE

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Real time measurement of etch rate during a chemical etching process von RATZLAFF, EUGENE HENRY, HSIAO, YIPING, BARBEE, STEVEN GEORGE, LI, LEPING, HEINZ, TONY FREDERICK, WONG, JUSTIN WAIOW

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Contactless real-time in-situ monitoring of a chemical etching process von LI, LEPING, BALCONI-LAMICA,MICHAEL, HEINZ, TONY FREDERICK, RATZLAFF, EUGENE HENRY, HSIAO, YIPING, WONG, JUSTIN WAIOW, BARBEE, STEVEN GEORGE

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Contactless real-time in-situ monitoring of a chemical etching process von LI, LEPING, BALCONI-LAMICA,MICHAEL, HEINZ, TONY FREDERICK, RATZLAFF, EUGENE HENRY, HSIAO, YIPING, WONG, JUSTIN WAIOW, BARBEE, STEVEN GEORGE

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IN-SITU MONITORING OF CONDUCTIVE FILMS ON SEMICONDUCTOR WAFERS von STEVEN, GEORGE BARBEE, TONY, FREDERICK HEINZ, LEPING, LI, ARNOLD, HALPERIN

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