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1
Coevaporation and structuring of titanium–aluminum alloy thin films
von
Lattner, Eric
,
Seifert, Marietta
,
Gemming, Thomas
,
Heicke, Steffen
,
Menzel, Siegfried B.
Veröffentlicht in
Journal of vacuum science & technology. A, Vacuum, surfaces, and films
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PieMontE TP: Erforschung von Beschichtungstechnologien zur Dünnschichttechnik : Schlussbericht : Laufzeit: 01.03.2020-31.06.2022
von
Unknown
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Vorrichtung zum Kühlen eine Sputtertargets
von
Heicke, Steffen
,
Temmler, Dietmar
,
Bartzsch, Hagen
,
Weiske, Dieter
,
Frach, Peter
,
Hinz, Alexander Martin
,
Neuhaus, Stefan
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Patent
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4
DEVICE FOR COOLING A SPUTTERING TARGET
von
FRACH, Peter
,
HEICKE, Steffen
,
TEMMLER, Dietmar
,
HINZ, Alexander Martin
,
BARTZSCH, Hagen
,
NEUHAUS, Stefan
,
WEISKE, Dieter
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5
Control equipment monitoring current supply to vaporization crucibles in vacuum coating plant, measures voltage drop in supply lead or across crucible
von
WINKLER, ROLF
,
HEICKE, STEFFEN
,
DUERSEL, ACHIM
,
BOERNERT, SIEGFRIED
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Device for the rapid and automatic vacuum coating of workpieces comprises a processing chamber with a wall region arranged parallel to the axis of a holding device and formed as a...
von
WINKLER, ROLF
,
KOEGLER, DIETMAR
,
WILL, THOMAS
,
HEICKE, STEFFEN
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Patent
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7
Einrichtung zur Funktionskontrolle von Verdampferschiffchen in evakuierbaren Bearbeitungskammern
von
WINKLER, ROLF
,
HEICKE, STEFFEN
,
DUERSEL, ACHIM
,
BOERNERT, SIEGFRIED
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Patent
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