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Method for mounting a three-axis MEMS device with precise orientation
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METHOD FOR MOUNTING A THREE-AXIS MEMS DEVICE WITH PRECISE ORIENTATION
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PRECISION MICRO-ELECTROMECHANICAL SENSOR (MEMS) MOUNTING IN ORGANIC PACKAGING
von
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DEVICE CAVITY ORGANIC PACKAGE STRUCTURES AND METHODS OF MANUFACTURING SAME
von
NUYTKENS PETER R
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METHODS AND APPARATUS FOR MULTICHIP MODULE PACKAGING
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HAWAT NOUREDDINE
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FOLDABLE SUBSTRATE
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,
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Foldable substrate
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CAI YONGYAO
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LIU HAIDONG
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LI ZONGYA
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MA JUN
,
ZHANG FENG
,
JIANG LEYUE
,
ZHAO YANG
,
HAWAT NOUREDDINE
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Faltbares Substrat
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,
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LIU, HAIDONG
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DUAN, ZHIWEI
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Esp@Cenet
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