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Epitaxial growth of SiGe thin films by ion-beam sputtering
Veröffentlicht in Applied surface science
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Recent Trends of PVD and CVD. Deposition of Metal-oxide Films by Reactive Sputtering
Veröffentlicht in Hyōmen gijutsu
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スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会(SP 部会)の設立と発展の軌跡
Veröffentlicht in Journal of the Vacuum Society of Japan
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