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Atomic Layer Deposition Beyond Thin Film Deposition Technology
Veröffentlicht in Advanced materials technologies
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Microstructure-Dependent Nucleation in Atomic Layer Deposition of Pt on TiO 2
Veröffentlicht in Chemistry of materials
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Effects of Cl-Based Ligand Structures on Atomic Layer Deposited HfO2
Veröffentlicht in Journal of physical chemistry. C
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