Suchergebnisse - HAN, Jewoo | OPAC THWS

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Improvement of Plasma Etching Endpoint Detection with Data-driven Wavelength Selection and Gaussian Mixture Model von Kim, Chae Sun, Lee, Hye Ji, Roh, Hae Rang, Park, Taekyoon, Lee, Yongseok, Han, Jewoo, Kwon, Sungun, Lee, Chanmin, Sun, Jongwoo, Yoon, Kukhan, Lee, Jong Min

Veröffentlicht in IEEE transactions on semiconductor manufacturing

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2

Control of radio-frequency atmospheric pressure argon plasma characteristics by helium gas mixing von Moon, Se Youn, Han, Jewoo, Choe, W.

Veröffentlicht in Physics of plasmas

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3

APPARATUS AND METHOD FOR PLASMA ETCHING von Kim, Kyohyeok, Han, Jewoo, Park, Haejoong, Sun, Jongwoo, Kim, Taehwa

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4

Apparatus and method for plasma etching von Kim, Kyohyeok, Han, Jewoo, Park, Haejoong, Sun, Jongwoo, Kim, Taehwa

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5

Plasma processing apparatus and semiconductor device manufacturing method using the same von Han, Jewoo, Byun, Iksu, Earmme, Taemin, Sun, Jongwoo, Oh, Sejin

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6

APPARATUS AND METHOD FOR PLASMA ETCHING von Kim, Kyohyeok, Han, Jewoo, Park, Haejoong, Sun, Jongwoo, Kim, Taehwa

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7

PLASMA PROCESSING APPARATUS AND SEMICONDUCTOR DEVICE MANUFACTURING METHOD USING THE SAME von Han, Jewoo, Byun, Iksu, Earmme, Taemin, Sun, Jongwoo, Oh, Sejin

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8

Etching apparatus von Yoon, Kuihyun, Kim, Yunhwan, Kim, Kyohyeok, Han, Jewoo, Lee, Jaehak, Lee, Jongkeun

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9

Capacitively-coupled plasma substrate processing apparatus including a focus ring and a substrate processing method using the same von Han, Jewoo, Tomoyasu, Masayuki, Song, Incheol, Sun, Jongwoo, Lim, Jihyun, Yoon, Hongmin

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10

ETCHING APPARATUS von Yoon, Kuihyun, Kim, Yunhwan, Kim, Kyohyeok, Han, Jewoo, Lee, Jaehak, Lee, Jongkeun

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11

GAS SUPPLY ASSEMBLY AND SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS INCLUDING THE SAME von SUN, Jongwoo, SUNG, Dougyong, JEONG, Seongha, JUNG, Ungyo, JUNG, Kimoon, SUNG, Minkyu, JEON, Kangmin, HAN, Jewoo

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12

CAPACITIVELY-COUPLED PLASMA SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS INCLUDING A FOCUS RING AND A SUBSTRATE PROCESSING METHOD USING THE SAME von SUN, Jongwoo, YOON, Hongmin, LIM, Jihyun, TOMOYASU, Masayuki, HAN, Jewoo, SONG, Incheol

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13

Existence of a proper subspace of (Zn,(TSk)n) which is homeomorphic to the n-dimensional Khalimsky topological space von Han, Sang-Eon, Lee, Jewoo, Yao, Wei, Kim, Junhui

Veröffentlicht in Topology and its applications

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