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Influence of the reactor design in the case of silicon nitride PECVD
Veröffentlicht in Chemical engineering science
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Analysis of the N2O dissociation by r.f. discharges in a plasma reactor
Veröffentlicht in Surface & coatings technology
VolltextArtikel -
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Analysis of the N2O dissociation in a RF discharge reactor
Veröffentlicht in Journal of physics. D, Applied physics
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