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On the film density using high power impulse magnetron sputtering
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Ionized physical vapor deposition (IPVD): A review of technology and applications
Veröffentlicht in Thin solid films
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On sheath energization and Ohmic heating in sputtering magnetrons
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Effect of atomic ordering on the magnetic anisotropy of single crystal Ni80Fe20
Veröffentlicht in AIP advances
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Physics and technology of magnetron sputtering discharges
Veröffentlicht in Plasma sources science & technology
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