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    Reaction of Methylcyclopentadienyl Manganese Tricarbonyl on Silicon Oxide Surfaces: Implications for Thin Film Atomic Layer Depositions

    Reaction of Methylcyclopentadienyl Manganese Tricarbonyl on Silicon Oxide Surfaces: Implications for Thin Film Atomic Layer Depositions von Bouman, Menno, Qin, Xiangdong, Doan, Vananh, Groven, Benjamin L. D, Zaera, Francisco

    Veröffentlicht in Organometallics

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