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Review of oxidation processes in plasmas
Veröffentlicht in Journal of Physics and Chemistry of Solids
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Resist profile control of image reversal process in contact lithography
Veröffentlicht in Microelectronic engineering
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Core level photoemission study of the interaction of plasmas with real GaAs(100) surfaces
Veröffentlicht in Surface science
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Kinetics of GaAs Plasma Anodization
Veröffentlicht in Journal of the Electrochemical Society
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Growth of dielectric films on semiconductors and metals using a multipole plasma
Veröffentlicht in Thin solid films
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Enhanced plasma oxidation at low temperature using a thin solid electrolyte film
Veröffentlicht in Applied physics letters
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Optical Assessment of the Interaction Between EL2 and EL6 Levels in Boron Implanted GaAs
Veröffentlicht in Physica scripta
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