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    Modelling and Study of a Microwave Plasma Source for High-rate Etching

    Modelling and Study of a Microwave Plasma Source for High-rate Etching von Pauly, Steffen, Schulz, Andreas, Walker, Matthias, Gorath, K, Baumgärtner, Klaus, Tovar, Günter

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    Modelling and Study of a Microwave Plasma Source for High-rate Etching

    Modelling and Study of a Microwave Plasma Source for High-rate Etching von Pauly, S, Schulz, A, Walker, M, Gorath, M, Baumgärtner, K.-M, Tovar, G.E.M

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