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High performance resist for EUV lithography
Veröffentlicht in Microelectronic engineering
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Hematin-Catalyzed Polymerization of Phenol Compounds
Veröffentlicht in Macromolecules
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Nanocomposite resist systems for next generation lithography
Veröffentlicht in Microelectronic engineering
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High sensitivity nanocomposite resists for EUV lithography
Veröffentlicht in Microelectronic engineering
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Micro/nano machining of polymeric substrates by ion beam techniques
Veröffentlicht in Microelectronic engineering
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Organic-Inorganic Nanocomposites: Unique Resists for Nanolithography
Veröffentlicht in Advanced materials (Weinheim)
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