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(Invited) Towards a Vertical and Damage Free Post-Etch InGaAs Fin Profile: Dry Etch Processing, Sidewall Damage Assessment and Mitigation Options
von
Peralagu, Uthayasankaran
,
Li, Xu
,
Ignatova, Olesya
,
Fu, Yen-Chun
,
Millar, David Alan John
,
Steer, Matthew J
,
Povey, Ian M
,
Hossain, Khalid
,
Jain, Manish
,
Golding, Terry G
,
Droopad, Ravi
,
Hurley, P. K.
,
Thayne, Iain G
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ECS transactions
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(Invited) Towards a Vertical and Damage Free Post-Etch InGaAs Fin Profile: Dry Etch Processing, Sidewall Damage Assessment and Mitigation Options
von
Peralagu, Uthayasankaran
,
Li, Xu
,
Ignatova, Olesya
,
Fu, Yen-Chun
,
Millar, David Alan John
,
Steer, Matthew J
,
Povey, Ian M
,
Hossain, Khalid
,
Jain, Manish
,
Golding, Terry G
,
Droopad, Ravi
,
Hurley, P. K.
,
Thayne, Iain G
Veröffentlicht in
Meeting abstracts (Electrochemical Society)
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Late Cenozoic sedimentation and volcanism during transtensional deformation in Wingate Wash and the Owlshead Mountains, Death Valley
von
Luckow, Heather Golding
,
Pavlis, Terry L.
,
Serpa, Laura F.
,
Guest, Bernard
,
Wagner, David L.
,
Snee, Lawrence
,
Hensley, Tabitha M.
,
Korjenkov, Andrey
Veröffentlicht in
Earth-science reviews
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Iopscience Extra
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Institute Of Physics (Iop) Journals - Heal-Link
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Free Full-Text Journals In Chemistry
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Ingentaconnect Journals
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Institute Of Physics Open Access Journal Titles
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Ezb-Free-00999 Freely Available Ezb Journals
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Ingentaconnect
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Access Via Sciencedirect (Elsevier)
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Sd College Edition Journals Collection - Physical Sciences [Scps]
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