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    Magnetron Sputter Deposition of Amorphous Silicon–SiO2 Quantized Nanolaminates

    Magnetron Sputter Deposition of Amorphous Silicon–SiO2 Quantized Nanolaminates von Thöny, Silvia Schwyn, Bärtschi, Manuel, Batzer, Marietta, Baselgia, Manuel, Gmünder, Raphael, Sharma, Amit, Vermeij, Tijmen, Maeder, Xavier, Waldner, Stephan

    Veröffentlicht in Advanced photonics research

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