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A Methodology for Predictive Maintenance in Semiconductor Manufacturing von Scheibelhofer, Peter, Gleispach, Dietmar, Hayderer, Günter, Stadlober, Ernst

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Virtual Metrology Modeling for CVD Film Thickness von Besnard, Jérôme, Gleispach, Dietmar, Gris, Hervé, Ferreira, Ariane, Roussy, Agnès, Kernaflen, Christelle, Hayderer, Günter

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Virtual metrology models for predicting avera PECVD oxide film thickne von Ferreira, A., Roussy, A., Kernaflen, C., Gleispach, D., Hayderer, G., Gris, H., Besnard, J.

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