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Drop ejection utilizing sideways actuation of a MEMS piston
von
Galambos, Paul
,
Czaplewski, Dave
,
Givler, Rick
,
Pohl, Kenneth R.
,
Luck, David L.
,
Benavides, Gilbert
,
Jokiel, Bernie
Veröffentlicht in
Sensors and actuators. A. Physical.
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