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Rapid thermal annealing of metastable and stable Si/Si 1−xGe x heterojunction bipolar transistors
von
Shafi, Z.A.
,
Martin, A.S.R.
,
Whitehurst, J.
,
Ashburn, P.
,
Godfrey, D.J.
,
Gibblings, C.J.
,
Post, I.R.C.
,
Tuppen, C.G.
,
Booker, G.R.
,
Jones, M.E.
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Microelectronic engineering
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Shafi, Z.A.
,
Martin, A.S.R.
,
Whitehurst, J.
,
Ashburn, P.
,
Godfrey, D.J.
,
Gibblings, C.J.
,
Post, I.R.C.
,
Tuppen, C.G.
,
Booker, G.R.
,
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