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Electrowetting in Carbon Nanotubes
Veröffentlicht in Science (American Association for the Advancement of Science)
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The role of mask charging in profile evolution and gate oxide degradation
Veröffentlicht in Microelectronic engineering
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Aspect-ratio-dependent charging in high-density plasmas
Veröffentlicht in Journal of applied physics
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Pattern-Dependent Charging in Plasmas: Electron Temperature Effects
Veröffentlicht in Physical review letters
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Prediction of multiple-feature effects in plasma etching
Veröffentlicht in Applied physics letters
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Pattern-dependent charging in plasmas
Veröffentlicht in IEEE transactions on plasma science
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