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The creep behaviour of the microfabricated silicon diaphragms at 900 degree C
Veröffentlicht in Microelectronic engineering
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The creep behaviour of the microfabricated silicon diaphragms at 900 °C
Veröffentlicht in Microelectronic engineering
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Microengineered electrically resettable circuit breaker
Veröffentlicht in Journal of microelectromechanical systems
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