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    Wafer Level Curing of Polymer Dielectrics with Variable Frequency Microwaves

    Wafer Level Curing of Polymer Dielectrics with Variable Frequency Microwaves von Hubbard, R.L., Garard, R.S.


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    variable frequency microwave excited plasma

    variable frequency microwave excited plasma von Fathi, Z., Wei, J., Garard, R.S., Lauf, R.J., Clausing, R., McMillan, A.


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