Treffer 1 - 2 von 2 für Suche 'Gabeli, F.', Suchdauer: 0,25s Treffer weiter einschränken
  1. 1
    Overlay performance of an advanced x-ray stepper (XRS 200)

    Overlay performance of an advanced x-ray stepper (XRS 200) von Gabeli, F., Kucinski, A., Simon, K., Scheunemann, H.-U.

    Veröffentlicht in Microelectronic engineering

    Volltext
    Artikel

    Zu den Favoriten
    Gespeichert in:
  2. 2
    Evaluation of an advanced submicron X-ray stepper (XRS 200): Pattern transfer and alignment accuracy

    Evaluation of an advanced submicron X-ray stepper (XRS 200): Pattern transfer and alignment accuracy von Simon, K., Gabeli, F., Rohrmoser, W., Seedorf, S., Scheunemann, H.-U., Huber, H.L.

    Veröffentlicht in Microelectronic engineering

    Volltext
    Artikel

    Zu den Favoriten
    Gespeichert in:

Suchwerkzeuge: