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InGaAs-OI Substrate Fabrication on a 300 mm Wafer
Veröffentlicht in Journal of low power electronics and applications
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150 mm SiC Engineered Substrates for High-Voltage Power Devices
Veröffentlicht in Materials science forum
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(Keynote) Low Temperature SmartCutTM Process for 3D Integration
Veröffentlicht in ECS transactions
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(Keynote) Low Temperature SmartCut TM Process for 3D Integration
Veröffentlicht in ECS transactions
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