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Design and Manufacture of Polarization-Independent 3D SOI Vertical Optical Coupler
Veröffentlicht in Micromachines (Basel)
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Nondestructive Demolding of Structure-Designable High-Aspect-Ratio Nanoimprint Template
Veröffentlicht in Langmuir
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3D OPC method for controlling the morphology of micro structures in laser direct writing
Veröffentlicht in Optics express
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