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Deposition of yttrium oxide thin films in supercritical carbon dioxide
Veröffentlicht in Thin solid films
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Properties of atomic layer deposited HfO2 thin films
Veröffentlicht in Thin solid films
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Low-Temperature Dopant-Assisted Crystallization of HfO2 Thin Films
Veröffentlicht in Crystal growth & design
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Low-Temperature Dopant-Assisted Crystallization of HfO 2 Thin Films
Veröffentlicht in Crystal growth & design
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Carbonate formation during post-deposition ambient exposure of high-k dielectrics
Veröffentlicht in Applied physics letters
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