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HIGH VELOCITY METHOD FOR DEPOSING DIAMOND FILMS FROM A GASEOUS PHASE IN SHF DISCHARGE PLASMA AND DEVICE FOR CARRYING OUT SAID METHOD
von
KOLDANOV, VLADIMIR ALEKSANDROVICH
,
BYKOV, JURIY VLADIMIROVICH
,
IVANOV, OLEG ANDREEVICH
,
VIKHAREV, ANATOLIY LEONTIEVICH
,
GORBACHEV, ALEKCEY MIKHAYLOVICH
,
DENISOV, GRIGORY GENNADIEVICH
,
LITVAK, ALEKSANDR GRIGORIEVICH
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HIGH VELOCITY METHOD FOR DEPOSING DIAMOND FILMS FROM A GASEOUS PHASE IN SHF DISCHARGE PLASMA AND A PLASMA REACTOR FOR CARRYING OUT SAID METHOD
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,
IVANOV, OLEG ANDREEVICH
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High velocity method for deposing diamond films from a gaseous phase in shf discharge plasma and device for carrying out said method
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VIKHAREV ANATOLIY LEONTIEVICH,GORBACHEV ALEKCEY MIKHAYLOVICH,LITVAK ALEKSANDR GRIGORIEVICH,BYKOV JURIY VLADIMIROVICH,DENISOV GRIGORY GENNADIEVICH,IVANOV OLEG ANDREEVICH,KOLDANOV VLADIMIR ALEKSANDROVI
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HIGH-VELOCITY METHOD FOR DEPOSITING DIAMOND FILMS FROM A GASEOUS PHASE IN SHF DISCHARGE PLASMA AND A PLASMA REACTOR FOR CARRYING OUT SAID METHOD
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High velocity method for deposing diamond films from a gaseous phase in shf discharge plasma and device for carrying out said method
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