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Shortened load port for factory interface
von
Baumgarten, Douglas B
,
Holeyannavar, Devendra Channappa
,
Ramachandraiah, Arunkumar
,
Ramachandran, Narayanan
,
Gopalakrishna, Srinivas Poshatrahalli
,
Reuter, Paul B
,
Koshti, Sushant S
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Factory interface robots usable with integrated load locks
von
Constant, Andrew J
,
Baumgarten, Douglas B
,
Holeyannavar, Devendra Channappa
,
Ramachandraiah, Arunkumar
,
Rice, Michael R
,
Ramachandran, Narayanan
,
Assaf, Shay
,
Newman, Jacob
,
Reuter, Paul B
,
Gopalakrishna, Srinivas Poshatrahalli
,
Koshti, Sushant S
,
Phillips, David
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3
SHORTENED LOAD PORT FOR FACTORY INTERFACE
von
HOLEYANNAVAR, Devendra Channappa
,
BAUMGARTEN, Douglas B
,
REUTER, Paul B
,
RAMACHANDRAN, Narayanan
,
GOPALAKRISHNA, Srinivas Poshatrahalli
,
KOSHTI, Sushant S
,
RAMACHANDRAIAH, Arunkumar
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4
SHORTENED LOAD PORT FOR FACTORY INTERFACE
von
Baumgarten, Douglas B
,
Holeyannavar, Devendra Channappa
,
Ramachandraiah, Arunkumar
,
Ramachandran, Narayanan
,
Gopalakrishna, Srinivas Poshatrahalli
,
Reuter, Paul B
,
Koshti, Sushant S
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5
FACTORY INTERFACE ROBOTS USABLE WITH INTEGRATED LOAD LOCKS
von
ASSAF, Shay
,
HOLEYANNAVAR, Devendra Channappa
,
BAUMGARTEN, Douglas B
,
REUTER, Paul B
,
CONSTANT, Andrew J
,
RAMACHANDRAN, Narayanan
,
PHILLIPS, David
,
NEWMAN, Jacob
,
RICE, Michael R
,
GOPALAKRISHNA, Srinivas Poshatrahalli
,
KOSHTI, Sushant S
,
RAMACHANDRAIAH, Arunkumar
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6
FACTORY INTERFACE ROBOTS USABLE WITH INTEGRATED LOAD LOCKS
von
Constant, Andrew J
,
Baumgarten, Douglas B
,
Holeyannavar, Devendra Channappa
,
Ramachandraiah, Arunkumar
,
Rice, Michael R
,
Ramachandran, Narayanan
,
Assaf, Shay
,
Newman, Jacob
,
Reuter, Paul B
,
Gopalakrishna, Srinivas Poshatrahalli
,
Koshti, Sushant S
,
Phillips, David
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7
팩토리 인터페이스를 위한 단축된 로드 포트
von
RAMACHANDRAIAH ARUNKUMAR
,
HOLEYANNAVAR DEVENDRA CHANNAPPA
,
RAMACHANDRAN NARAYANAN
,
GOPALAKRISHNA SRINIVAS POSHATRAHALLI
,
BAUMGARTEN DOUGLAS B
,
KOSHTI SUSHANT S
,
REUTER PAUL B
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Patent
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8
Shortened load port for factory interface
von
HOLEYANNAVAR, DEVENDRA CHANNAPPA
,
KOSHTI, SUSHANT S
,
REUTER, PAUL B
,
RAMACHANDRAIAH, ARUNKUMAR
,
GOPALAKRISHNA, SRINIVAS POSHATRAHALLI
,
BAUMGARTEN, DOUGLAS B
,
RAMACHANDRAN, NARAYANAN
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통합된 로드록들과 함께 사용 가능한 팩토리 인터페이스 로봇들
von
ASSAF SHAY
,
RAMACHANDRAIAH ARUNKUMAR
,
NEWMAN JACOB
,
HOLEYANNAVAR DEVENDRA CHANNAPPA
,
RAMACHANDRAN NARAYANAN
,
GOPALAKRISHNA SRINIVAS POSHATRAHALLI
,
BAUMGARTEN DOUGLAS B
,
KOSHTI SUSHANT S
,
RICE MICHAEL R
,
CONSTANT ANDREW J
,
PHILLIPS DAVID
,
REUTER PAUL B
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Factory interface robots usable with integrated load locks
von
HOLEYANNAVAR, DEVENDRA CHANNAPPA
,
KOSHTI, SUSHANT S
,
NEWMAN, JACOB
,
ASSAF, SHAY
,
RICE, MICHAEL R
,
PHILLIPS, DAVID
,
REUTER, PAUL B
,
RAMACHANDRAIAH, ARUNKUMAR
,
GOPALAKRISHNA, SRINIVAS POSHATRAHALLI
,
CONSTANT, ANDREW J
,
BAUMGARTEN, DOUGLAS B
,
RAMACHANDRAN, NARAYANAN
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