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A Parametric Study of a Multi-Slot Air Knife for Coating Thickness Reduction
Veröffentlicht in ISIJ International
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Enabling EUV Resist Research at the 1x and Smaller Regime
Veröffentlicht in Journal of Photopolymer Science and Technology
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EUV Research Activity at SEMATECH
Veröffentlicht in Journal of Photopolymer Science and Technology
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Hydrodynamically driven facet kinetics in crystal growth
Veröffentlicht in Journal of crystal growth
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