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SENSING ELEMENT OF MICROMECHANICAL ACCELEROMETER
von
KOCHURINA ELENA SERGEEVNA
,
TIMOSHENKOV ALEKSEJ SERGEEVICH
,
CHAPLYGIN JURIJ ALEKSANDROVICH
,
MIRONOV SERGEJ GENNAD'EVICH
,
KIRGIZOV SERGEJ VIKTOROVICH
,
GLAZKOV OLEG NIKOLAEVICH
,
GOLOVAN' ANTON SERGEEVICH
,
ANCHUTIN STEPAN ALEKSANDROVICH
,
RUBCHITS VADIM GRIGOR'EVICH
,
TIMOSHENKOV SERGEJ PETROVICH
,
SHILOV VALERIJ FEDOROVICH
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Esp@Cenet
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