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Pre-clean synergy with poly EMP process
von
Wooi-Cheang Goh
,
Yan Chen
,
Yan-Zheng Peck
,
Won-Gyu Park
,
Kah-Keen Lai
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Tagungsbericht
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METHOD FOR PREPARING SILICON WAFER HAVING ROUGH SURFACE, AND SILICON WAFER
von
LAI, Kah Keen
,
GOH, Wooi Cheang
,
LOO, Li Eng
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METHOD FOR MANUFACTURING SILICON WAFER HAVING ROUGH SURFACE, AND SILICON WAFER
von
LAI, Kah Keen
,
GOH, Wooi Cheang
,
LOO, Li Eng
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MEMS CONDUCTIVE MEMBER AND PREPARATION METHOD FOR CONDUCTIVE COATINGS
von
LAI, Kah Keen
,
TAO, Ze
,
GOH, Wooi Cheang
,
TU, Lanlan
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5
TRANSDUCER AND MANUFACTURING METHOD THEREFOR
von
LAI, Kah Keen
,
DAN, Qiang
,
GOH, Wooi Cheang
,
GOH, Kian Heng
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6
MEMS DRIVER AND IMAGING ANTI-JITTER DEVICE
von
LAI, Kah Keen
,
TAO, Ze
,
LI, Yang
,
GOH, Wooi Cheang
,
TU, Lanlan
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7
MOTION CONTROL STRUCTURE AND ACTUATOR
von
LAI, Kah Keen
,
TAO, Ze
,
LI, Yang
,
GOH, Wooi Cheang
,
ZHAN, Zhan
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Esp@Cenet
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Ieee Electronic Library (Iel) Conference Proceedings
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Ieee Power & Energy Library
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1
Ieee Electronic Library (Iel)
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1