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Micro-electro-mechanical system
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Comb tooth type microphone
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Microphone
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,
BOYD EUAN JAMES
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Micro-electro-mechanical system
von
PATEL ANUP
,
GARG SCOTT LYLE
,
BOYD EUAN JAMES
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MEMS element and electro-acoustic conversion device
von
PIERRE, CEFRAND, YANNICK
,
WEI HONGZHONG COLIN
,
JENKINS COLIN ROBERT
,
JAMES, BODUIAN
,
GARG SCOTT LYLE
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