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A new laser-processed polysilicon TFT architecture
Veröffentlicht in IEEE electron device letters
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Pulsed laser crystallization and doping for thin film transistors
Veröffentlicht in Journal of non-crystalline solids
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Laser processing of amorphous silicon for large-area polysilicon imagers
Veröffentlicht in Thin solid films
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MoSi 2 formation by rapid isothermal annealing
Veröffentlicht in IEEE electron device letters
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MoSi2formation by rapid isothermal annealing
Veröffentlicht in IEEE electron device letters
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Formation of titanium silicide films by rapid thermal processing
Veröffentlicht in IEEE electron device letters
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