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A robust pressure sensor for harsh environmental applications
Veröffentlicht in Sensors and actuators. A. Physical.
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A MEMS toolkit for metal-oxide-based gas sensing systems
Veröffentlicht in Thin solid films
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Improved surface-micromachined hinges for fold-out structures
Veröffentlicht in Journal of microelectromechanical systems
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Micromachined pressure sensor based on sapphire for high temperature applications
Veröffentlicht in Procedia engineering
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