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Study of Laser Backside Ohmic Contact Formation of SiC-Ni Interface to Evaluate the Process Influence on the Electrical Characteristics von Supplieth, Frank, Lewke, Dirk, Ransom, John, von Ringleben, Maik

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Use of wafer brightness to monitor laser anneal process and laser anneal tool von Frank Supplieth

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Use of wafer brightness to monitor laser anneal process and laser anneal tool von Frank Supplieth

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USE OF WAFER BRIGHTNESS TO MONITOR LASER ANNEAL PROCESS AND LASER ANNEAL TOOL von SUPPLIETH, Frank

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USE OF WAFER BRIGHTNESS TO MONITOR LASER ANNEAL PROCESS AND LASER ANNEAL TOOL von SUPPLIETH FRANK

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Benutzung von Waferhelligkeit zum Überwachen eines Lasertemperprozesses und Temperwerkzeug von Supplieth, Frank

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Detection and review of crystal originated surface and sub surface defects on bare silicon von Nutsch, A., Funakoshi, T., Pfitzner, L., Steffen, R., Supplieth, F., Ryssel, H.

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Reliable matching of 300 mm defect inspection tools @ sub 60 nm defect size von Nutsch, A., Supplieth, F., Pfitzner, L., Ryssel, H.

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Shim plate positioning method for magnetic resonance scanner, involves using magnetoresistive magnet simulator at installation site and measuring local magnetic fields to determine... von SUPPLIETH, FRANK, GOERTLER, GEORG, KUTH, RAINER

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Study of Laser Backside Ohmic Contact Formation of SiC-Ni Interface to Evaluate the Process Influence on the Electrical Characteristics von Supplieth, Frank, Lewke, Dirk, Ransom, John, von Ringleben, Maik

Use of wafer brightness to monitor laser anneal process and laser anneal tool von Frank Supplieth

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Benutzung von Waferhelligkeit zum Überwachen eines Lasertemperprozesses und Temperwerkzeug von Supplieth, Frank

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Detection and review of crystal originated surface and sub surface defects on bare silicon von Nutsch, A., Funakoshi, T., Pfitzner, L., Steffen, R., Supplieth, F., Ryssel, H.

Reliable matching of 300 mm defect inspection tools @ sub 60 nm defect size von Nutsch, A., Supplieth, F., Pfitzner, L., Ryssel, H.

Shim plate positioning method for magnetic resonance scanner, involves using magnetoresistive magnet simulator at installation site and measuring local magnetic fields to determine... von SUPPLIETH, FRANK, GOERTLER, GEORG, KUTH, RAINER

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