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    Temperature uniformity optimization for a silicon implant anneal into GaAs using OPUS super(TM) simulation software

    Temperature uniformity optimization for a silicon implant anneal into GaAs using OPUS super(TM) simulation software von Farukhi, Zaid, Francz, Helmut, Marcus, Steven, Tillmann, Andreas, Niess, Juergen, Drechsler, Martin

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    Temperature Uniformity Optimization for a silicon implant anneal into GaAs using Opus ™ simulation software

    Temperature Uniformity Optimization for a silicon implant anneal into GaAs using Opus ™ simulation software von Farukhi, Zaid, Francz, Helmut, Marcus, Steven, Tillmann, Andreas, Niess, Juergen, Drechsler, Martin

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